[发明专利]硼扩散炉管的清洁方法及其清洁设备无效
| 申请号： | 201310119789.8 | 申请日： | 2013-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN103215649A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 王英超;熊景峰;胡志岩;李高非;赵文超 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/04 | 分类号： | C30B31/04;B08B9/027 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张永明 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硼扩散炉管的清洁方法及其清洁设备。其中，硼扩散炉管的清洁方法包括以下步骤：步骤S10：向硼扩散炉管内通入携水气体；步骤S20：排出经过硼扩散炉管后的携水气体。硼扩散炉管的清洁设备包括供气装置；盛水容器；第一管道，进气端与供气装置连接，第一管道的出气端延伸至盛水容器的液面以下；第二管道，进气端与盛水容器连接并且位于盛水容器的液面以上，第二管道的出气端与硼扩散炉管的进气口连接。采用本发明的硼扩散炉管的清洁方法或清洁设备能够快速地、方便地对硼扩散炉管进行清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 炉管 清洁 方法 及其 设备 | ||
【主权项】：
一种硼扩散炉管的清洁方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S10：向硼扩散炉管内通入携水气体；步骤S20：排出经过所述硼扩散炉管后的所述携水气体。
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