[发明专利]一种无线无源电容式湿度传感器

摘要

本发明公开了一种无线无源电容式湿度传感器，包括硅衬底、热氧化层、多晶硅层、二氧化硅层、金属层和钝化层，热氧化层固定连接在硅衬底顶面，多晶硅层固定连接在热氧化层顶面，多晶硅层中刻蚀有多晶硅加热电阻，二氧化硅层覆盖在多晶硅层的表面，金属层固定连接在二氧化硅层的顶面，钝化层覆盖在金属层的顶面；金属层中刻蚀有梳齿电容、片上电感和加热电阻锚区，梳齿电容中填充有感湿的聚酰亚胺层；片上电感的内引线与梳齿电容的下电极锚区相连，片上电感的外引线锚区与梳齿电容的上电极锚区相连。该湿度传感器采用无线无源元件构成，具有非接触、体积小、功耗低的性能优点。

主权项

一种无线无源电容式湿度传感器，其特征在于，该湿度传感器包括硅衬底（1）、热氧化层（2）、多晶硅层（3）、二氧化硅层（4）、金属层（5）和钝化层（6），热氧化层（2）固定连接在硅衬底（1）顶面，多晶硅层（3）固定连接在热氧化层（2）顶面，多晶硅层（3）中刻蚀有一个多晶硅加热电阻（8）和连接引线，二氧化硅层（4）覆盖在多晶硅层（3）的表面，金属层（5）固定连接在二氧化硅层（4）的顶面，钝化层（6）覆盖在金属层（5）的顶面；二氧化硅层（4）、多晶硅层（3）和金属层（5）上设有相连通的通孔；金属层（5）中刻蚀有梳齿电容（9）、片上电感（11）和加热电阻锚区（14），梳齿电容（9）位于多晶硅加热电阻（8）的正上方，梳齿电容（9）包括上电极锚区（101）、下电极锚区（102）、以及与上电极锚区（101）和下电极锚区（102）连接的一对梳齿，梳齿电容（9）中填充有感湿的聚酰亚胺层（7）；片上电感（11）布设在梳齿电容（9）外侧，片上电感（11）的内引线通过连接线（12）与梳齿电容（9）的下电极锚区（102）相连，片上电感（11）的外引线锚区（13）与梳齿电容（9）的上电极锚区（101）通过多晶硅层（3）中的连接引线以及二氧化硅层（4）、多晶硅层（3）和金属层（5）间的相连的通孔实现互连；加热电阻锚区（14）位于片上电感（11）的外侧。