[发明专利]物理量传感器和电子设备

摘要

本发明提供一种物理量传感器和电子设备，其具有简单的结构且能够提高检测灵敏度。物理量传感器(100)包括基板(10)；可动体(20)，其具备以第一轴(Q1)为界，而被设置在第一区域(20a)内的第一可动电极部(21)、和被设置在第二区域(20b)内的第二可动电极部(22)、以及被设置在第一区域(20a)和第二区域(20b)中的至少一个区域内的阻尼调节部(23)；梁部(30、32)，其对可动体(20)进行支承；第一固定电极部(50)；第二固定电极部(52)，在阻尼调节部(23)上设置有第一贯穿孔(26)，在可动电极部(21、22)上设置有第二贯穿孔(27、28)，第一可动电极部(21)与第一固定电极部(50)重叠的区域的面积、和第二可动电极部(22)与第二固定电极部(52)重叠的区域的面积相同，第一贯穿孔(26)的宽度大于第二贯穿孔(27、28)的宽度。

主权项

一种物理量传感器，包括：可动体，其能够以第一轴为旋转轴而进行位移，并且具备在俯视观察时以所述第一轴为界，而被设置在第一区域内的第一可动电极部、和被设置在第二区域内的第二可动电极部、以及被设置在所述第一区域和所述第二区域中的至少一个区域内的阻尼调节部；梁部，其对所述可动体进行支承；第一固定电极部，其被配置为与所述第一可动电极部对置；第二固定电极部，其被配置为与所述第二可动电极部对置，在所述阻尼调节部上设置有第一贯穿孔，在所述第一可动电极部及所述第二可动电极部上设置有第二贯穿孔，于在俯视观察时除所述第二贯穿孔之外的部分处，所述第一可动电极部与所述第一固定电极部重叠的区域的面积、和所述第二可动电极部与所述第二固定电极部重叠的区域的面积相同，所述第二贯穿孔的所述第一轴的方向上的大小大于所述第二贯穿孔的与所述第一轴正交的第二轴的方向上的大小，所述第一贯穿孔的所述第一轴的方向上的大小大于所述第一贯穿孔的所述第二轴的方向上的大小，所述第一贯穿孔的所述第二轴的方向上的大小大于所述第二贯穿孔的所述第二轴的方向上的大小，所述第一贯穿孔设置有多个，多个所述第一贯穿孔在所述第二轴的方向上排列。