[发明专利]一种宽波段大尺寸平面光栅衍射效率测试仪

摘要

一种宽波段大尺寸平面光栅衍射效率测试仪，涉及光谱技术领域，解决现有光栅衍射效率测试仪无法实现宽波段范围内衍射效率的测量的问题，包括光源系统、前置单色仪、测量单色仪、探测系统和控制器；第一平面反射镜和第二平面反射镜和聚光镜；前置单色仪包括第一凹面准直镜、分光光栅组、第一转台、第一凹面成像镜和前置单色仪壳体；测量单色仪包括第二入射狭缝、第二凹面准直镜、第二转台、第二凹面成像镜和测量单色仪壳体；探测系统分别获取参考平面反射镜与待测平面光栅的衍射光通量，对待测平面光栅的衍射光通量与参考平面反射镜的反射光通量求比值，获得待测平面光栅的衍射效率。该衍射效率测试仪能够满足大口径平面光栅衍射效率的测量。

主权项

一种宽波段大尺寸平面光栅衍射效率测试仪，包括光源系统、前置单色仪、测量单色仪、探测系统和控制器（17）；所述光源包括钨灯（1）、氘灯（2）、第一平面反射镜（19）和第二平面反射镜（20）和聚光镜（3）；所述前置单色仪包括第一入射狭缝（4）、第一凹面准直镜（5）、分光光栅组（23）、第一转台（22）、第一凹面成像镜（21）、第一出射狭缝（24）和前置单色仪壳体（8）；所述测量单色仪包括第二入射狭缝（9）、第二凹面准直镜（10）、第二转台（26）、第二凹面成像镜（27）、第二出射狭缝（28）和测量单色仪壳体（18）；其特征是，所述钨灯（1）和氘灯（2）发出的光束分别经第一平面反射镜（19）和第二平面反射镜（20）反射到聚光镜（3）上，经聚光镜（3）反射后的光束再经第一入射狭缝（4）聚焦后入射到第一凹面准直镜（5），经第一凹面准直镜（5）准直的光束反射到分光光栅组（23），所述分光光栅组（23）固定在第一转台（22）上，经分光光栅组（23）分光后光束入射至第一凹面成像镜（21），所述经第一凹面成像镜（21）反射的光束依次经第一出射狭缝（24）、透镜组（25）、第二入射狭缝（9）和第二凹面准直镜（10）后入射至参考平面反射镜（12），所述参考平面反射镜（12）安装在第二转台（26）上，所述控制器（17）控制第二转台（26）的运动，经参考平面反射镜（12）反射的光束入射到第二凹面成像镜（27），经第二凹面成像镜（27）的光束由第二出射狭缝（28）出射后被探测系统接收，所述探测系统获取参考平面反射镜（12）的反射光通量；将待测平面光栅（11）替换参考平面反射镜（12）放置在第二转台（26）上，经第二凹面准直镜（10）后的光束入射至待测平面光栅（11），经待测平面光栅（11）衍射后的光束经第二凹面成像镜（27）和第二出射狭缝（28）后被探测系统接收；探测系统获取待测平面光栅（11）的衍射光通量，对待测平面光栅（11）的衍射光通量与参考平面反射镜（12）的反射光通量求比值，获得待测平面光栅（11）的衍射效率。