[发明专利]一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏无效
| 申请号： | 201310112446.9 | 申请日： | 2013-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN103215638A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 娄中士;方建雄;金启源 | 申请（专利权）人： | 苏州海铂晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/20 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 215437 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，所述热屏包括由若干钨片同轴叠置而成的第一钨片组，所述钨片中央设有开孔，所述开孔直径由上往下依次减小。本发明可以增加中心区域的散热，减少边缘区域的辐射散热。退火时，可以增加中心区域的降温速率，使晶体温度分布更加均匀，最大温差减小，从而减少晶体开裂。增加保温效果，降低运行功率，节约成本，提高晶体成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶体生长 阶梯 状热屏 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，其特征在于：所述热屏包括由若干钨片(3)同轴叠置而成的第一钨片组(1)，所述钨片(3)中央设有开孔(4)，所述开孔(4)直径由上往下依次减小。
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