[发明专利]角速度传感器

摘要

一种角速度传感器（100）包括：振动器（11），其位于沿着由彼此正交的x方向和y方向规定的x-y平面中；基板（12），其在垂直于x-y平面的z方向上与所述振动器（11）分离；锚固装置（13），其从所述基板（12）延伸到所述振动器（11）所位于的所述x-y平面；连接梁装置（14），其将所述锚固装置（13）连接到所述振动器（11），所述连接梁能够围绕所述y方向扭转；激励部（50），其沿着所述z方向振动所述振动器（11）；以及检测部（70），其基于沿着所述振动器（11）的x方向的移位来检测角速度。所述振动器（11）包括与所述连接梁装置（14）相连接的连接区域（P1），并且所述连接区域（P1）在所述振动器（11）沿着z方向振动时变成波节。

主权项

一种角速度传感器（100），包括：振动器（11），其位于由彼此正交的x方向和y方向规定的x‑y平面中；基板（12），其在垂直于所述x‑y平面的z方向上与所述振动器（11）分离；锚固装置（13），其从所述基板（12）延伸到所述振动器（11）所位于的所述x‑y平面；连接梁装置（14），其将所述锚固装置（13）与所述振动器（11）相连接，所述连接梁能够围绕y方向扭转；激励部（50），其沿着z方向使所述振动器（11）振动；以及检测部（70），其基于沿着所述振动器（11）的x方向的移位来检测角速度，其中，所述振动器（11）包括与所述连接梁装置（14）相连接的连接区域（P1），所述连接区域（P1）在所述振动器（11）沿着z方向振动时变成波节。