[发明专利]一种微机电系统桥膜结构残余应力的测试方法有效
| 申请号： | 201310078587.3 | 申请日： | 2013-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN103207034A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 阮勇;刘倚瑞;马波;尤政 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 贾玉姣;宋合成 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机电系统桥膜结构残余应力的测试方法，包括：S1、形成微机电系统桥膜结构载荷位移曲线，通过所述载荷位移曲线得出实测弹性系数；形成无残余应力载荷位移曲线，通过所述无残余应力的载荷位移曲线得出无残余应力模拟弹性系数；S2、确定所述微机电系统桥膜结构残余应力状态；S3、通过含有残余应力的模拟载荷位移曲线，得出含有残余应力模拟弹性系数；S4、改变所述初始残应力的微机电系统桥膜结构的初始残应力的大小至到所述含有残余应力模拟弹性系数和实测弹性系数相等，此时所述初始残应力的大小为所述微机电系统桥膜结构含有残应力的大小。该方法可以能够相对简单的测试多种桥膜结构残余应力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 膜结构 残余 应力 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统桥膜结构残余应力的测试方法，其特征在于，包括：S1、对微机电系统桥膜结构进行加载，形成载荷位移曲线，通过所述载荷位移曲线得出实测弹性系数；利用有限元软件建立无残余应力的微机电系统桥膜结构并模拟加载，形成无残余应力载荷位移曲线，通过所述无残余应力的载荷位移曲线得出无残余应力模拟弹性系数；S2、比较所述实测弹性系数和所述无残余应力模拟弹性系数的大小，确定所述微机电系统桥膜结构残余应力状态；S3、用有限元软件建立含有初始残应力的微机电系统桥膜结构，所述含有初始残应力的微机电系统桥膜结构的残余应力状态与所述微机电系统桥膜结构残余应力状态相同，并且对所述含有初始残应力的微机电系统桥膜结构进行模拟加载，得出含有残余应力的模拟载荷位移曲线，通过所述含有残余应力的模拟载荷位移曲线，得出含有残余应力模拟弹性系数；S4、改变所述初始残应力的微机电系统桥膜结构的初始残应力的大小至到所述含有残余应力模拟弹性系数和实测弹性系数相等，此时所述初始残应力的大小为所述微机电系统桥膜结构含有残应力的大小。
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