[发明专利]振动片和振子的制造方法、振子、振荡器以及电子设备

摘要

振动片和振子的制造方法、振子、振荡器以及电子设备。提供能够简单且准确地计测振动部的有效振动区域的宽度，易于管理振动特性的振动片的制造方法，振动片的制造方法包含以下步骤准备AT切石英基板的第1步骤；在石英基板的+Y′轴侧的主面上配置第1掩模，在‑Y′轴侧的主面上以相对于第1掩模向+Z′轴侧偏移的方式配置第2掩模，隔着第1掩模和第2掩模对石英基板进行蚀刻，由此在石英基板上形成包含振动部和薄壁部的台面型基板的步骤，振动部包含向+Y′轴侧突出的第1凸部和向‑Y′轴侧突出的第2凸部，薄壁部沿着振动部的外缘配置，厚度比薄壁部的厚度薄；以及在台面型基板上形成导体图案的步骤。

主权项

一种振动片的制造方法，其特征在于，所述振动片的制造方法包含以下步骤：准备旋转Y切石英基板；在所述石英基板的+Y′轴侧的主面上配置第1掩模，在‑Y′轴侧的主面上以相对于所述第1掩模向+Z′轴侧偏移的方式配置第2掩模，隔着所述第1掩模和所述第2掩模对所述石英基板进行蚀刻，由此在所述石英基板上形成包含振动部和薄壁部的台面型基板，所述振动部包含向+Y′轴侧突出的第1凸部和向‑Y′轴侧突出的第2凸部，所述薄壁部沿着所述振动部的外缘配置，厚度比所述振动部的厚度薄；以及在所述台面型基板上形成导体图案，当设所述第1掩模和所述第2掩模的Z′轴方向的偏移量为D，设从所述薄壁部的+Y′轴侧的主面到所述第1凸部的主面的高度与从所述薄壁部的‑Y′轴侧的主面到所述第2凸部的主面的高度之和为t时，所述D与所述t的关系满足0＜D≤t/2。