[发明专利]振动片和振子的制造方法、振子、振荡器以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及振动片的制造方法、振子的制造方法、振子、振荡器以及电子设备。

背景技术

以往，已知有使用石英的振动片（振子或振荡器）。这种振动片具有优异的频率温度特性，因此被广泛地用作各种电子设备的基准频率源或振荡源等。特别是使用以被称作AT切的切割角切出的石英基板的振动片，频率温度特性呈3次曲线，因此还被广泛地用于手机等移动通信设备等（例如，参照专利文献1）。

如专利文献1中公开的那样，作为使用AT切石英基板的振动片，已知有被称作双台面（Bi-mesa）型的振动片。双台面型是指具有厚壁的振动部和沿着振动部的周缘设置的厚度比所述振动部的厚度薄的薄壁部，所述振动部是具有从所述薄壁部向+Y′轴侧突出的第1凸部和向-Y′轴侧突出的第2凸部的形状。这样的形状可以有效地将振动封闭到振动部，因此具有能够得到优异的振动特性这样的优点。

在此，例如可以举出通过光刻技术和蚀刻技术将板状的石英基板图案化的方法，作为形成双台面型的石英基板的方法。

具体而言，首先，准备以AT切切出的板状的石英基板，在其一个表面上形成与第1凸部对应的第1掩模，并且在另一个表面上形成与第2凸部对应的第2掩模。另外，第1掩模和第2掩模的形状彼此相同，以其轮廓彼此重合的方式形成。接着，隔着这些第1掩模和第2掩模从其两个表面侧蚀刻石英基板，由此形成具有振动部和位于振动部周围的周缘部的石英基板，其中，振动部具有第1凸部和第2凸部。接着，在得到的石英基板的表面上形成电极，由此得到石英振动片。

在此，在石英基板的蚀刻工序中，存在第1掩模和第2掩模产生相对偏移的情况，根据这种偏移方式，制造出图14所示形状的石英振动片。另外，由于石英晶面的原因，第1凸部51的+Z′轴侧的侧面512成为相对于主面511大致垂直的面，-Z′轴侧的侧面513成为相对于主面511倾斜的面。此外，第2凸部52的-Z′轴侧的侧面522成为相对于主面521大致垂直的面，+Z′轴侧的侧面523成为相对于主面521倾斜的面。

在此，关于管理石英振动片的振动特性（质量）的方面，由于台面部的有效振动区域53的宽度（在Z′轴方向上的长度）十分重要，因此需要求出该宽度并对其进行管理。另外，有效振动区域53是指第1凸部51的主面511与第2凸部52的主面521重合的区域。

有多种方法可以在图14所示的形状中求出有效振动区域53的宽度W1′，作为比较简单的方法，例如，求出石英振动片的总宽度W2′、第1凸部51的主面511的-Z′轴侧的端部A2′与石英振动片的-Z′轴侧的端部B2′的间隔距离L1′、以及第2凸部52的主面521的+Z′轴侧的端部A4′与石英振动片的+Z′轴侧的端部B1′的间隔距离L2′，代入公式W1′=W2′-（L1′+L2′），由此可以求出有效振动区域53的宽度W1′。

然而，在图14所示的结构中，存在不能准确地计测L1′、L2′这样的问题。即，当计测L1′时，需要从+Y′侧观察石英振动片，确定第1凸部51的主面511的端部A2′。但是，第1凸部51的侧面513与周缘部的边界Ｃ3′位于端部A2′的旁边，因此相互平行的2条边界线看起来很接近，它们被一体地观察，不能准确地确定端部A2′。因此，不能准确地计测L1′。关于L2′的计测也是相同的。

如上所示，以往的石英振动片的制造方法存在以下问题：不能准确地计测有效振动区域的宽度，从而制造出难以管理振动特性（质量）的石英振动片。

专利文献

专利文献1：日本特开2010-147625号公报

专利文献2：日本特开2008-067345号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供能够简单且准确地计测振动部的有效振动区域的宽度，易于管理振动特性的振动片的制造方法、易于管理振动特性的振子的制造方法，以及具有该振动片的可靠性优异的振子、振荡器以及电子设备。

本发明正是为了解决上述问题的至少一部分而完成的，可以作为以下的应用例而实现。

［应用例1］

本发明的振动片的制造方法，其特征在于，所述振动片的制造方法包含以下步骤：

准备旋转Y切石英基板；