[发明专利]告警监控方法和装置有效
申请号: | 201310066956.7 | 申请日: | 2013-03-01 |
公开(公告)号: | CN104020724B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 康盛;马瑾怡;王晓倩;暨欣媛;简维廷 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 吴贵明,江舟 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请公开了告警监控方法和装置,其中,该方法包括采集生产过程中用于告警监控的样本数据;确定该样本数据的分布类型;获取与该分布类型对应的告警监控策略;使用该告警监控策略对该生产过程进行告警监控。本申请通过选择与不同分布类型对应的控制界,使得对于不同分布类型的样本数据能够快速地确定出用于告警监控的控制界,解决现有技术中对于不同分布类型的大样本数据需要花费较长时间来得到准确的控制界的技术问题,从而能够快速建立统计过程控制方法,以减少误报警概率和有效监控大量数据的异常波动。 | ||
搜索关键词: | 告警 监控 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种告警监控方法,其特征在于,包括:采集生产过程中用于告警监控的样本数据;确定所述样本数据的分布类型;获取与所述分布类型对应的告警监控策略;使用所述告警监控策略对所述生产过程进行告警监控;其中,在判断出所述分布类型为连续非正态分布型,或者,周期性趋势向上/向下型,或者,PM后总体漂移型时,判断所述样本数据的分布是否满足PM变化条件;若所述样本数据的分布不满足所述PM变化条件,则判断出所述分布类型为连续非正态分布型;若所述样本数据的分布满足所述PM变化条件,则判断出所述分布类型为周期性趋势向上/向下型,或者,PM后总体漂移型。
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