[发明专利]一种激光等离子体极紫外光源的产生装置及方法有效
| 申请号： | 201310062528.7 | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103163743A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 许瑞;王新兵;左都罗;卢宏;陆培祥 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 朱仁玲 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于激光技术领域，公开了一种激光等离子体极紫外光源的产生装置及方法，该产生装置包括真空腔室以及位于真空腔室内的收集镜、聚焦镜、固体靶材和电机；还包括驱动光源和辅助光源；辅助光源用于产生辅助激光，辅助激光辐射所述固体靶材并使得固体靶材的热影响区域的温度升高至温度阈值；电机用于带动固体靶材旋转，驱动光源用于产生驱动激光，驱动激光通过聚焦镜聚焦后辐射固体靶材的热影响区域并产生等离子体辐射出极紫外光。本发明由于采用辅助光源来加热固体靶材，使得整个装置简化、实现方式简单且扩大了靶材材料的选择范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 等离子体 紫外 光源 产生 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种激光等离子体极紫外光源的产生装置，包括真空腔室以及位于所述真空腔室内的收集镜、聚焦镜、固体靶材和电机；其特征在于，还包括驱动光源和辅助光源；所述辅助光源用于产生辅助激光，所述辅助激光辐射所述固体靶材并使得所述固体靶材的热影响区域的温度升高至温度阈值；所述电机用于带动所述固体靶材旋转，所述驱动光源用于产生驱动激光，所述驱动激光通过所述聚焦镜聚焦后辐射所述固体靶材的所述热影响区域并产生等离子体辐射出极紫外光。
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