[发明专利]形成光伏器件的方法有效
申请号: | 201310062130.3 | 申请日: | 2013-02-27 |
公开(公告)号: | CN103325887A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | A·J·宏;M·J·霍普斯塔肯;C-C·黄;Y·W·黄;金志焕;D·K·萨达那;C-F·曾 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司;北儒精密股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/20 | 分类号: | H01L31/20 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 于静;张亚非 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及形成光伏器件的方法。一种形成光伏器件的方法,包括:在衬底上沉积p型层,以及通过将p型层的表面暴露到等离子体处理以与污染物发生反应,从而清洁p型层。在p型层上形成本征层,以及在本征层上形成n型层。 | ||
搜索关键词: | 形成 器件 方法 | ||
【主权项】:
一种形成光伏器件的方法,包括:在衬底上沉积p型层;通过将所述p型层的表面暴露到等离子体处理以与污染物反应,从而清洁所述p型层;在所述p型层上形成本征层;以及在所述本征层上形成n型层。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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