[发明专利]侦测蒸发源的装置及方法无效
| 申请号： | 201310060667.6 | 申请日： | 2013-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN103160798A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 邹忠哲;李潍萌 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201506 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及OLED显示面板的制备工艺，尤其涉及一种侦测蒸发源的装置及方法，主要通过在侦测蒸镀源上设置可移动的侦测器，以对整个蒸镀源的蒸镀速率进行及时有效的检测，在有效的回馈蒸镀源的镀率均匀性的同时，还能及时发现蒸镀源的异常；同时在侦测器不进行侦测工作时，将其固定设置在位于蒸镀源的一侧，以避免因机械动作造成有机材料或是灰尘等缺陷掉落而造成蒸发源污染，以进一步的提高产品的良率和品质。 | ||
| 搜索关键词： | 侦测 蒸发 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种侦测蒸发源的装置，应用于蒸镀工艺中的蒸镀装置上，所述蒸镀装置包括线性蒸发源，其特征在于，包括：一导轨装置，所述导轨装置设置在所述蒸镀装置上；一侦测器，所述侦测器通过所述导轨装置可移动的设置在与所述线性蒸发源具有一预设距离位置，以侦测整个所述线性蒸发源的蒸镀速率；其中，所述侦测器通过所述导轨装置在所述线性蒸发源长度方向上进行移动。
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