[发明专利]加工表面高平坦化方法及其装置无效
| 申请号： | 201310059271.X | 申请日： | 2013-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN103707178A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 任靖日 | 申请（专利权）人： | 任靖日 |
| 主分类号： | B24B37/16 | 分类号： | B24B37/16;B24B37/07;B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 133002 吉林省延边*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 在物体加工表面的高平坦化方法中，在研磨工具的接触表面上设计制作具有形状大小为1～100μm、深度为1～5μm以及所占接触表面的密度为20～50%的微米凹痕图形，并在研磨工具和加工物体接触表面间添加颗粒大小为0.1～6μm的研磨剂，使两接触表面间形成摩擦接触运动的粒子研磨，在各种材料加工表面中获得全局的高平坦化的超精密平整加工表面。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 表面 平坦 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.在物体加工表面的高平坦化方法中，在研磨工具（1）的接触表面（6）上设计制作具有形状大小为1～100、深度为1～5以及占接触表面积的密度为20～50%的微米凹痕图形（2）；并在研磨工具（1）和加工物体接触表面间添加颗粒大小为0.1～6的研磨剂，使两接触表面间形成摩擦接触运动的粒子研磨过程为特征的，在各种材料加工表面的超精密平整加工中获得全局的高平坦化方法。
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