[发明专利]一种表面处理装置有效
申请号: | 201310058915.3 | 申请日: | 2013-02-25 |
公开(公告)号: | CN104004993B | 公开(公告)日: | 2018-01-12 |
发明(设计)人: | 王进东;饶晓雷;胡伯平 | 申请(专利权)人: | 北京中科三环高技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 北京航忱知识产权代理事务所(普通合伙)11377 | 代理人: | 陈立航 |
地址: | 100190 北京市海淀区中*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种表面处理装置。该装置包括能充放气体的容器;旋转构件,安装在所述容器;工件盛放构件,以能拆卸的方式安装在所述旋转构件,所述工件盛放装置具有盛放待处理工件的内部空间;表面处理构件,对盛放在所述内部空间的所述待处理工件进行表面处理。该装置能够使工件在相对于蒸发源翻转的同时,减少工件特别是工件边角和网状管筒之间的滑动和摩擦,实现工件各个表面的镀层均匀一致,同时边角镀层不发生破损。 | ||
搜索关键词: | 一种 表面 处理 装置 | ||
【主权项】:
一种表面处理装置,包括:容器,能充放气体,容器的下部设有支撑部件,支撑部件上有转轮,容器的一端设置有能够旋转的齿轮轴;旋转构件,安装在所述容器的内部,所述旋转构件包括转架、支撑架和多个支撑套环,支撑架固定多个支撑套环,转架两端各有一个圆盘,圆盘被转轮支持,两个圆盘通过连接杆连接在一起,支撑架以能够拆卸的方式固定安装在转架上,两个圆盘中的一个圆盘上固定有齿轮,齿轮和齿轮轴构成行星齿轮结构;工件盛放构件,以能拆卸的方式安装在所述旋转构件的周部,所述工件盛放构件包括网状管筒,所述网状管筒的外周尺寸比所述支撑套环的中心孔的内径小,所述工件盛放构件具有盛放待处理工件的内部空间;表面处理构件,设置在容器的底部,对盛放在所述内部空间的所述待处理工件进行表面处理,所述旋转构件旋转时,盛放在所述内部空间的所述待处理工件相对所述表面处理构件发生翻转,而不相对所述工件盛放构件发生翻转。
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