[发明专利]照明光学系统、用于光谱测定的光照射装置和光谱测定仪

摘要

本发明提供了一种照明光学系统。所述照明光学系统包括激光光源、积分器元件、振荡元件以及集光元件。所述振荡元件能够将从所述激光光源出射的激光束引导至所述积分器元件，并且能够振荡以改变激光束到所述积分器元件的入射角；所述集光元件用于聚集从所述积分器元件出射的激光束。此外，本发明还提供了用于光谱测定的光照射装置和光谱测定仪。所述用于光谱测定的光照射装置包括上述照明光学系统。所述光谱测定仪包括上述照明光学系统、反射部件、衍射光栅、输入元件以及用于保持光学共轭的光学系统。根据本发明，即使在采用激光束的光学装置中也能够抑制干涉条纹的产生。

主权项

一种照明光学系统，其包括：激光光源；积分器元件；振荡元件，所述振荡元件能够将从所述激光光源出射的激光束引导至所述积分器元件，并且能够振荡以改变所述激光束到所述积分器元件的入射角；以及集光元件，所述集光元件用于聚集从所述积分器元件出射的激光束。