[发明专利]照明光学系统、用于光谱测定的光照射装置和光谱测定仪

权利要求书

1.一种照明光学系统，其包括：

激光光源；

积分器元件；

振荡元件，所述振荡元件能够将从所述激光光源出射的激光束引导至所述积分器元件，并且能够振荡以改变所述激光束到所述积分器元件的入射角；以及

集光元件，所述集光元件用于聚集从所述积分器元件出射的激光束。

2.如权利要求1所述的照明光学系统，其中，

所述积分器元件具有第一积分器元件和第二积分器元件，从所述第一积分器元件出射的激光束入射到所述第二积分器元件上。

3.如权利要求2所述的照明光学系统，其中，

所述第一积分器元件具有第一透镜阵列，所述第一透镜阵列包括以预定的节距布置的多个透镜，

所述第二积分器元件具有第二透镜阵列，所述第二透镜阵列包括以所述第一透镜阵列的所述节距布置的、且与所述第一透镜阵列的多个透镜的光轴方向相对应布置的多个透镜，并且

所述振荡元件进行振荡，使得从所述第一透镜阵列的多个透镜中的第一透镜出射的激光束入射到所述第二透镜阵列的多个透镜中的与所述第一透镜的光轴方向相对应布置的第二透镜上。

4.如权利要求1所述的照明光学系统，其中，

所述积分器元件具有透镜阵列，在所述透镜阵列上布置有多个透镜，并且

所述振荡元件进行振荡，使得入射在所述积分器元件上的激光束的振荡宽度不大于所述多个透镜中的单个透镜的宽度。

5.如权利要求1至4中任一项所述的照明光学系统，其中，

所述振荡元件是共振反射镜或声光元件。

6.一种用于光谱测定的光照射装置，所述光照射装置包括权利要求1至5中任一项所述的照明光学系统。

7.一种光谱测定仪，其包括：

权利要求1至5中任一项所述的照明光学系统；

光谱测定光学系统；以及

用于保持从所述集光元件出射的激光束的聚光面与入射在所述输入元件上的激光束的输入面之间的光学共轭的光学系统，

其中，所述光谱测定光学系统包括：

反射部件，所述反射部件具有沿着具备中心的第一圆形形成的凹面；

衍射光栅，所述衍射光栅具有边缘部和沿着与所述第一圆形同心布置的第二圆形形成的凸面，在所述反射部件的所述凹面处被反射的光入射到所述衍射光栅上；以及

输入元件，所述输入元件布置在相对于所述反射部件和所述衍射光栅的预定位置处，使得从所述衍射光栅出射的并且在所述凹面处被反射的衍射光在输入至所述光谱测定光学系统的输入光与所述衍射光栅的所述边缘部之间通过，所述衍射光具有600nm以上且1100nm以下的波长区域。