[发明专利]一种纳米压印机及其加压方法有效
| 申请号： | 201310053828.9 | 申请日： | 2013-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN103149797A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 唐瑞荪 | 申请（专利权）人： | 无锡市正先自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨小双 |
| 地址： | 214174 江苏省无锡市惠山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米压印机及其加压方法，该压印机包括真空腔、驱动装置、加压盘、承压平台和固化成形装置，所述承压平台设置于真空腔内的底部，所述压盘设置于真空腔内承压平台的上方，且所述压盘连接驱动装置，所述驱动装置包括由伺服电机和滚珠丝杠组成的直驱式伺服电动缸，所述伺服电动缸的缸体内设置有高灵敏压力传感器，所述加压盘包括上、下加压盘，所述上加压盘连接滚珠丝杠，且所述上、下压盘之间布置有滚动摩擦圆珠，所述承压平台上设置有加热装置，且其底部设置有紫外光源。上述纳米压印机具有压力分布均匀，压印压力、保压时间和压印速度可自行控制和设置以及可适用热固化成形和紫外固化成形的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 及其 加压 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米压印机，其包括真空腔、驱动装置、加压盘、承压平台和固化成形装置，所述承压平台设置于真空腔内的底部，所述压盘设置于真空腔内承压平台的上方，且所述压盘连接驱动装置，其特征在于，所述加压盘包括上、下加压盘，所述上加压盘连接驱动装置，且所述上、下压盘之间布置有滚动摩擦圆珠，所述固化成形装置包括设置于承压平台上的加热装置和设置于承压平台底部的紫外光源。
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