[发明专利]分辨率增强傅里叶微光谱仪

摘要

本发明公开了一种分辨率增强傅立叶微光谱仪，其包括干涉仪其用于借助电光效应对待测光信号进行位相调制，且其光输出端设置有光反射装置，使得进入所述干涉仪的待测光信号被反射后按原路返回；光波传输装置其为二分支结构，待测光信号通过所述二分支结构的第一分支输入，通过所述二分支结构的主干枝耦合进入所述干涉仪的光输入端；而所述二分支结构的第二分支用于接收经所述干涉仪上的光反射装置反射后的待测光信号；光电探测器其用于测量进入所述二分支结构的第二分支的待测光信号的强度变化，并获得待测光信号的干涉图谱。待测光信号在光波导电光调制器内的往返传播增大了光程差变化量，进而提高了光谱分辨率。

主权项

一种分辨率增强傅里叶微光谱仪，其包括：干涉仪：其用于借助电光效应对待测光信号进行位相调制，且其光输出端设置有光反射装置，所述光反射装置为端面金属反射膜，使得进入所述干涉仪的待测光信号被反射后按原路返回；光波传输装置：其为二分支结构，待测光信号通过所述二分支结构的第一分支输入，通过所述二分支结构的主干枝耦合进入所述干涉仪的光输入端；而所述二分支结构的第二分支用于接收经所述干涉仪上的光反射装置反射后的待测光信号；光隔离器，其与所述二分支结构的第一分支光连接，用于消除反射光对待测光信号的影响；光电探测器：其用于测量进入所述二分支结构的第二分支的待测光信号的强度变化，并获得待测光信号的干涉图谱；其中，所述干涉仪包括Y形分歧波导，所述Y形分歧波导具有两个相互平行波导臂，其端面被抛光后镀上金属膜，形成所述光反射装置；在所述两个相互平行的波导臂两侧设置有推挽电极，用于电光调制；所述待测光信号通过所述光波传输装置耦合进入所述Y形分歧波导的主波导后被等强度分配进入所述两波导臂，并经设置在其端面的反射装置反射后沿原路返回，因此所述待测光信号在发生干涉前两次经过电光调制区间，从而光程差变化量较单次传播时增大了一倍，提高了光谱分辨率。