[发明专利]探针、探测头及应用此探测头的晶圆检测装置无效
| 申请号： | 201310051731.4 | 申请日： | 2013-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN103995157A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 陈永宪 | 申请（专利权）人： | 诚佑光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;常大军 |
| 地址： | 中国台湾新北市中*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种探针、探测头及应用此探测头的晶圆检测装置，探测头用以设置于一晶圆检测装置，探测头包括一导光通道、多个探针、光收集器及光检测器。光收集器及光检测器分别设置于导光通道的相对两侧，而多个探针环设于光收集器的外围。这些探针电性接触于一光电晶圆，以使光电晶圆发出的光线经由光收集器进入到导光通道，再由光检测器检测受测部位的光线强度。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 探测 应用 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种探测头，其特征在于，包括：一本体，内部具有一导光通道，该导光通道的相对二侧分别具有一第一开口及一第二开口；多个探针，设置在该本体且相邻该第一开口；以及一光检测器，设置在该第二开口；其中，该些探针电性接触于一光电晶圆的至少一受测部位，当该受测部位发出光线后，令该受测部位的光线进入到该导光通道，再由该光检测器检测该受测部位的光线强度。
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