[发明专利]一种测试材料释气率的装置及方法有效
| 申请号： | 201310049859.7 | 申请日： | 2013-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN103983532A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 俞芸;许琦欣;李佳 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01N7/00 | 分类号： | G01N7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种测试材料释气率的装置，包括：真空室，所述真空室包括第一真空室和第二真空室，所述第一真空室和第二真空室由一个带有小孔的隔板隔开，所述第二真空室用于放置测试材料，所述第二真空室内设有一辐射灯；与所述真空室连接的泵组；与所述真空室连接测量系统；充入所述第二真空室中的气源。本发明通过测量系统测量所述第一真空室和第二真空室的气体压力，不仅可以得出测试材料释放的所有气体组分的总释气率，而且可以得出测试材料释放的某一气体组分的释气率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 材料 释气率 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种测试材料释气率的装置，其特征在于，包括： 真空室，所述真空室包括第一真空室和第二真空室，所述第一真空室和第二真空室由一个带有小孔的隔板隔开，所述第二真空室用于放置测试材料，所述第二真空室内设有一辐射灯，用于对测试材料进行加热控温； 泵组，与真空室连接，用于为真空室提供一个真空的环境； 测量系统，与真空室连接，用于测量所述第一真空室和第二真空室的气体压力； 气源，提供气体充入第二真空室中，用于在测试结束时，破坏真空，并且保护真空室内壁免受污染物吸附。
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