[发明专利]一种测试材料释气率的装置及方法

权利要求书

1.一种测试材料释气率的装置，其特征在于，包括： 

真空室，所述真空室包括第一真空室和第二真空室，所述第一真空室和第二真空室由一个带有小孔的隔板隔开，所述第二真空室用于放置测试材料，所述第二真空室内设有一辐射灯，用于对测试材料进行加热控温； 

泵组，与真空室连接，用于为真空室提供一个真空的环境； 

测量系统，与真空室连接，用于测量所述第一真空室和第二真空室的气体压力； 

气源，提供气体充入第二真空室中，用于在测试结束时，破坏真空，并且保护真空室内壁免受污染物吸附。 

2.根据权利要求1所述的测试材料释气率的装置，其特征在于，所述测量系统包括：离子规和质谱计，所述离子规通过第三角阀与所述第一真空室连接；所述离子规通过第四角阀与所述第二真空室连接；所述质谱计通过第五角阀与所述第一真空室连接；所述质谱计通过第六角阀与所述第二真空室连接； 

所述离子规用于在所述测试材料放置于所述第二真空室时，测量所述第一真空室内所有气体组分的第一全压和第二真空室内所有气体组分的第二全压，以及在所述测试材料从所述第二真空室移除后，测量第一真空室内所有气体组分的第三全压和第二真空室内所有气体组分的第四全压； 

所述质谱计用于在所述测试材料放置于所述第二真空室时，测量所述第一真空室内某一气体组分的第一分压和第二真空室内某一气体组分的第二分压，以及所述测试材料从所述第二真空室移除后，测量所述第一真空室内某一气体组分的第三分压和第二真空室内某一气体组分的第四分压。 

3.根据权利要求1所述的测试材料释气率的装置，其特征在于，测试材料释气率的装置还包括通过一闸阀与所述第二真空室连接的光源，所述光源照射测试材料，研究光源对测试材料释气率的影响。 

4.根据权利要求3所述的测试材料释气率的装置，其特征在于，所述光源为EUV光源。 

5.根据权利要求1所述的测试材料释气率的装置，其特征在于，所述泵组包括：干泵和分子泵，其中，所述干泵通过一管道与所述分子泵连接，所述分 子泵通过第一角阀与所述第一真空室连接；所述干泵通过第二角阀与所述第一真空室连接。 

6.根据权利要求1所述的测试材料释气率的装置，其特征在于，所述气源提供的气体为氮气。 

7.一种测试材料释气率的方法，使用如权利要求1所述的测试材料释气率的装置，其特征在于，测试材料释气率的方法的步骤包括： 

打开辐射灯对测试材料进行加热，并稳定测试材料的温度； 

启动泵组，启动测量系统，当所述真空室达到真空环境后开始测量； 

所述测量系统第一次测量所述第一真空室和第二真空室的气体压力； 

关闭泵组，由气源提供气体充入第二真空室，破坏所述第二真空室的真空，当真空环境被破坏后，停止充入气体，移除测试材料； 

启动泵组，启动测量系统，当所述真空室达到预设的真空环境后开始测量； 

所述测量系统第二次测量所述第一真空室和第二真空室的气体压力； 

根据所述第一次和第二次测量分别得到的所述第一真空室和第二真空室的气体压力得出测试材料的释气率。