[发明专利]从工件同时切割多个切片的设备和方法有效
申请号: | 201310049533.4 | 申请日: | 2013-02-07 |
公开(公告)号: | CN103240805A | 公开(公告)日: | 2013-08-14 |
发明(设计)人: | G·皮奇 | 申请(专利权)人: | 硅电子股份公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B23D57/00;B24B49/00;H01L21/304 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 李振东;过晓东 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 从工件同时切割多个切片的设备和方法。该方法包括通过线锯的进给装置以工件的轴平行于线锯的锯线引导滚筒的轴的方式保持工件;利用进给装置使工件以垂直地从上方通过线锯的排栅的方式移动,由多个彼此平行且在一个平面内运行的锯线段形成排栅;将硬物质在载液中的浆料作为磨料供应至锯线段,同时锯线段通过锯线引导滚筒的旋转在连续不断地改变旋转方向的情况下相对于工件实施相对运动,其引导锯线段从进入侧直至退出侧通过工件;将冷却剂从侧面及从下方喷射到在工件移动通过排栅时形成的切割间隙中,其中通过位于排栅下方与锯线引导滚筒的轴平行的喷嘴将冷却剂喷射到切割间隙中,仅通过与锯线段的进入侧位置相对的喷嘴将冷却剂喷射到切割间隙中。 | ||
搜索关键词: | 工件 同时 切割 切片 设备 方法 | ||
【主权项】:
用于从工件同时切割多个切片的设备,其包括锯线、至少两个水平且彼此平行排列并且以可绕其各自的轴旋转的方式安装的具有凹槽的圆柱形锯线引导滚筒以及进给装置,其中锯线在凹槽中围绕锯线引导滚筒加以引导,从而在锯线引导滚筒之间存在由多个彼此平行且在一个平面内运行的锯线段组成的水平排栅,此外还包括位于锯线引导滚筒上方用于将磨料喷射在锯线段上的第一喷嘴以及位于排栅下方平行于锯线引导滚筒的轴的用于将冷却剂从侧面及从下方喷射到工件的切割间隙中的第二喷嘴。
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