[发明专利]坩埚及其涂层方法无效
申请号: | 201310039054.4 | 申请日: | 2013-01-31 |
公开(公告)号: | CN103084325A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 王悦;刘华;王玉卓;庞海涛;任建华 | 申请(专利权)人: | 天津英利新能源有限公司 |
主分类号: | B05D7/22 | 分类号: | B05D7/22;B05D7/24;B05D3/00;C09D1/00;C30B35/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
地址: | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种坩埚及其涂层方法,公开的涂层方法包括以下步骤:制作涂料,涂料中包括六方氮化硼和纯水;将涂料喷涂在坩埚的内壁;将坩埚风干。坩埚与六方氮化硼反应的可能性很小,硅料不易粘锅,发生泄露的可能性明显降低,硅料生产时的安全可靠性得到提高。同时,涂层与液硅的润湿性很差,在承载液态硅的情况下不易与硅料产生粘连;另外由于六方氮化硼本身具有良好的润滑性,这使得硅锭脱模良好;而且,使用本发明的涂层可以明显使硅锭生长中的热传导更加均匀,改善硅锭的内在品质。因此,该涂层方法既可以减少坩埚与液态硅料的粘连和渗透,充当一个保护层的作用,而且可以起到润滑和脱模的作用,有利提高硅料的生产质量和生产效率。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 及其 涂层 方法 | ||
【主权项】:
一种坩埚的涂层方法,其特征在于,包括以下步骤:1)制作涂料,所述涂料中包括六方氮化硼和纯水;2)将所述涂料喷涂在所述坩埚的内壁;3)将所述坩埚风干。
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