[发明专利]用于等离子体诊断的Langmuir多探针控制电路有效

专利信息
申请号: 201310038992.2 申请日: 2013-01-31
公开(公告)号: CN103140009A 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 汤海滨;张尊;杨渊 申请(专利权)人: 北京航空航天大学
主分类号: H05H1/00 分类号: H05H1/00
代理公司: 北京永创新实专利事务所 11121 代理人: 姜荣丽
地址: 100191*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种用于等离子体诊断的Langmuir多探针控制电路,属于等离子体诊断技术领域。控制电路整体位于等离子体装置之外,包括三个Langmuir单探针、交流锯齿波供电电压发生装置、直流供电电压发生装置、双刀双掷开关、反向开关、第一双刀三掷开关、第二双刀三掷开关、第一单刀单掷开关、第二单刀单掷开关和转换电阻,通过切换控制电路中的开关来进行Langmuir单探针、双探针和三探针不同诊断电路之间的选择,并提供清洗电路实现对探针的清洗操作。本发明利用了三种探针诊断方法在实验设备上的相同点,可以节约实验成本。结合三种诊断方法的不同点,通过转换控制电路切换不同方法,方便快捷,大大缩短实验周期;可以在实验过程中对探针进行清洗,使实验结果更加准确。
搜索关键词: 用于 等离子体 诊断 langmuir 探针 控制电路
【主权项】:
用于等离子体诊断的Langmuir多探针控制电路,其特征在于:所述的控制电路整体位于等离子体装置之外,通过切换控制电路中的开关来进行Langmuir单探针、双探针和三探针不同诊断电路之间的选择,并提供清洗电路实现对探针的清洗操作。
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