[发明专利]耐振动的X轴环形陀螺仪换能器有效
| 申请号： | 201310037748.4 | 申请日： | 2013-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN103226017B | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | H·罗瑞克;K·L·卡拉维尔;G·G·李;林义真 | 申请（专利权）人： | 飞思卡尔半导体公司 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 冯玉清 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供耐振动的X轴环形陀螺仪换能器。一种微机电系统（MEMS）换能器（100、700）适用于使用横轴振动来响应于换能器绕旋转轴（170、770）的旋转运动在一对跷跷板感测质体结构（120/140、720/730）中生成非平面振荡，感测电极被连接以将来自该对感测质体结构的拾取信号（例如，102/107、802/807）对角地相加以抵销与旋转振动相关联的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 环形 陀螺仪 换能器 | ||
【主权项】：
一种MEMS传感器，包括：衬底；第一和第二电极对，关于中心线轴定位；以及第一和第二陀螺仪传感器，沿所述中心线轴设置且以间隔开的关系定位在所述衬底的表面之上，所述第一和第二陀螺仪传感器包括分别位于所述第一和第二电极对之上的第一和第二感测质体元件，其中，所述第一和第二感测质体元件适用于响应于所述传感器绕所述中心线轴的旋转加速度绕所述中心线轴一起同相地同步振荡，且适用于响应于所述传感器绕所述中心线轴的旋转速度绕所述中心线轴彼此逆相地同步振荡。
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