[发明专利]多晶硅生产尾气的处理方法无效
| 申请号： | 201310037286.6 | 申请日： | 2013-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN103073003A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 张志刚;严大洲;毋克力;肖荣晖;汤传斌;杨永亮;万烨 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01F11/28;C01B33/12 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成;黄德海 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅生产尾气的处理方法，包括以下步骤：a）将所述多晶硅生产尾气进行加压和冷却处理，得到液态的氯硅烷和含有氮气、氢气、氯化氢以及未冷凝的氯硅烷的第一气态产物；b）将所述第一气态产物通入具有预定浓度的吸收剂的水溶液中进行反应以吸收所述第一气态产物中的氯化氢和氯硅烷，得到混合液以及含有氮气和氢气的第二气态产物。根据本发明实施例的多晶硅生产尾气的处理方法，通过对尾气进行加压和冷却处理，可以得到液态的氯硅烷并将其回收利用；将第一气态产物通入吸收剂的水溶液中可以吸收第一气态产物中的氯化氢和氯硅烷，降低达标外排污水中的氯离子含量，杜绝土壤盐化，减少对周边环境影响。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 尾气 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产尾气的处理方法，所述多晶硅生产尾气包括：氮气、氢气、氯化氢和气态的氯硅烷，所述氯硅烷包括：四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅，其特征在于，包括以下步骤：a）将所述多晶硅生产尾气进行加压和冷却处理，得到液态的氯硅烷和含有氮气、氢气、氯化氢以及未冷凝的氯硅烷的第一气态产物；b）将所述第一气态产物通入具有预定浓度的吸收剂的水溶液中进行反应以吸收所述第一气态产物中的氯化氢和氯硅烷，得到混合液以及含有氮气和氢气的第二气态产物。
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