[发明专利]一种三氟醋酸盐溶液制备碱土金属MF2（M=Ba，Ca）薄膜的方法

摘要

本发明涉及光致发光器件材料、显示器材料的制备技术，具体地说是一种三氟醋酸盐溶液制备碱土金属MF2（M=Ba，Ca）薄膜的方法。目前，制备上转换氟化物薄膜有多种方法，如离子束辅助沉积、激光脉冲沉积、磁控溅射技术、电子束蒸发技术、溶胶-凝胶技术等，在薄膜制备方面，上述技术在制备氧化物上转换薄膜方面已有大量研究报道，技术达到了较成熟的地步。但利用上述的各种镀膜技术制备氟化物的上转换薄膜的方面，受到很大的局限性。本发明通过对溶液的提纯，获得了具有成膜性好的凝胶薄膜，并通过气氛保护下的热处理程序控制，获得良好性能的MF2（M=Ba，Ca）薄膜。

主权项

一种三氟醋酸盐溶液制备碱土金属MF2（M=Ba，Ca）薄膜的方法，其特征在于：所述的制备碱土金属MF2（M=Ba，Ca）薄膜的方法包括一下步骤：1）胶体溶液的制备；2）凝胶薄膜的制备；3）薄膜的气氛热处理，即可获得BaF2，CaF2 薄膜；所述的具体步骤如下：所述的步骤1）胶体溶液的制备：用三氟乙酸作反应物将钡的无机化合物或钙的无机化合物溶解于乙二醇甲醚或丙酸中形成了性能稳定且成膜性好的胶体溶液；所述的步骤2）凝胶薄膜的制备：用所配制的胶体溶液，通过旋涂法在基片上获得凝胶薄膜；所述的步骤3）薄膜的气氛热处理：将得到的凝胶薄膜在空气下干燥，N2气氛中热处理，即可获得具有纯的BaF2，CaF2薄膜。