[发明专利]一种增强热稳定性的透射式光电阴极材料的变掺杂结构有效
| 申请号： | 201310026755.4 | 申请日： | 2013-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN103123885A | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 王旺平;马建一 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H01J1/34 | 分类号： | H01J1/34 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210016 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是一种增强热稳定性的透射式光电阴极材料的变掺杂结构，在GaAs100衬底材料层往上依次为AlGaAs腐蚀阻挡层，GaAs锌重掺杂层，GaAs锌低掺杂层，GaAs碳梯度掺杂层，GaAs间隔层，AlGaAs窗口层。优点：该结构采用碳掺杂和变掺杂技术增强透射式GaAs或InGaAs光电阴极的短波响应，提升光电阴极工艺过程的热稳定性。变掺杂综合采用了锌和碳掺杂，在铯化面采用重锌掺杂，减小了铯化耗尽区，提高了光生载流子逸出概率；在窗口层界面处采用低碳掺杂，降低界面少子复合速率；在窗口层界面与重锌掺杂层之间采用碳变掺杂，形成具有良好热稳定性的内建电场，可以优化出高性能的光电阴极。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增强 热稳定性 透射 光电 阴极 材料 掺杂 结构 | ||
【主权项】：
一种增强热稳定性的透射式光电阴极材料的变掺杂结构，其特征在GaAs衬底材料层往上依次为AlGaAs腐蚀阻挡层（12），GaAs锌重掺杂层（13），GaAs锌低掺杂层（14），GaAs 碳梯度掺杂层（15），GaAs间隔层（16），AlGaAs窗口层（17）。
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