[发明专利]一种薄膜晶体管结构、液晶显示装置及一种制造方法有效
| 申请号： | 201310025057.2 | 申请日： | 2013-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN103094353A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 曾志远 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/06;H01L21/336 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜晶体管结构、液晶显示装置及一种制造方法。一种薄膜晶体管结构，包括第一金属层，所述第一金属层上设有绝缘层，所述绝缘层表面在所述第一金属层正上方对应区域设有氧化铟镓锌材质的有源层，所述有源层的表面铺设有第二金属层，所述第二金属层在所述有源层的上表面设有缺口，所述有源层的上表面在所述缺口区域设有凹槽。本发明由于在缺口处进行进一步的蚀刻，在有源层的表面蚀刻出凹槽，这样就去除了有源层中材质不纯的表面物质，提高了整个有源层材质的纯度，从而提高了TFT的特性效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 结构 液晶 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管结构，包括第一金属层，所述第一金属层上设有绝缘层，其特征在于，所述绝缘层表面在所述第一金属层正上方对应区域设有氧化铟镓锌材质的有源层，所述有源层的表面铺设有第二金属层，所述第二金属层在所述有源层的上表面设有缺口，所述有源层的上表面在所述缺口区域设有凹槽。
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