[发明专利]一种非晶碳复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201310023203.8 | 申请日： | 2013-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN103046001A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 王秀丽;蔡建宾;谷长栋;涂江平 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非晶碳复合涂层，由依次沉积在基体上的纯钛底层、碳-钛过渡层和含钛非晶碳顶层构成，含钛非晶碳顶层由原子百分比含量90～95%非晶碳和5～10%钛组成，非晶碳有sp2和sp3两种形式，含钛非晶碳顶层中sp3形式的非晶碳原子百分比含量由20%～30%逐渐增加到40%～50%。本发明还公开了一种非晶碳复合涂层的制备方法，采用闭合场非平衡磁控溅射法，便于连续化工业生产。本发明非晶碳复合涂层具有高硬度、低应力、较大厚度、低摩擦系数及优异耐磨性等优点，不仅可应用在摩擦学领域，还可以用于生物医学中，如人工髋关节表面等，大大提高材料的使用寿命，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 非晶碳 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种非晶碳复合涂层，其特征在于，由依次沉积在基体上的纯钛底层、碳‑钛过渡层和含钛非晶碳顶层构成，所述含钛非晶碳顶层由原子百分比含量90%～95%非晶碳和5%～10%钛组成，非晶碳有sp2和sp3两种形式，所述含钛非晶碳顶层中sp3形式的非晶碳原子百分比含量从含钛非晶碳顶层靠近碳‑钛过渡层的一侧到另一侧由20%～30%逐渐增加到40%～50%。
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