[发明专利]一种柔性壁面热线微传感器的新型制作方法

摘要

本发明公开了一种柔性壁面热线微传感器的新型制作方法，属于微机电系统（MEMS）领域。本发明采用柔性金属载体来实现加工过程中柔性衬底的固定，通过标准光刻工艺实现柔性衬底正面器件和导线的图形化，接着在正面沉积聚对二甲苯（Parylene）作为保护和强化层，然后在柔性金属载体背面贴附感光蓝膜，采用掩膜曝光及湿法腐蚀实现柔性金属载体的图形化，形成用于柔性衬底刻蚀的硬掩膜，再通过反应离子刻蚀（RIE）实现柔性衬底的局部刻蚀，刻蚀完成后采用高温加热的方法实现传感器和柔性金属载体的分离。该方法可以有效的保护柔性壁面热线微传感器的敏感单元，提高了传感器的性能，使用寿命也会大幅增加。

主权项

一种柔性壁面热线微传感器的新型制作方法，包括如下步骤：步骤1：对硬质衬底进行表面抛光和清洗；步骤2：在硬质衬底上表面旋涂PDMS；步骤3：将聚酰亚胺薄膜贴覆于旋涂有PDMS的硬质衬底表面，采用加温加压装置实现贴合，所述聚酰亚胺薄膜形成柔性壁面热线微传感器的柔性基底（2）；步骤4：在聚酰亚胺表面依次沉积第一金属层和第二金属层，图形化后形成敏感元件（1）和导线（5）；步骤5：在形成的敏感元件（1）和导线（5）的表面沉积聚对二甲苯（4）；步骤6：对硬质衬底图形化，形成空腔（3）的掩膜层；步骤7：以图形化的硬质衬底作为掩膜，进行PDMS和聚酰亚胺的刻蚀，形成空腔（3）；步骤8：加热硬质衬底，实现柔性壁面热线微传感器和硬质衬底的剥离。