[发明专利]一种柔性壁面热线微传感器的新型制作方法有效
| 申请号： | 201310021415.2 | 申请日： | 2013-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN103086320A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 马炳和;朱鹏飞;马旭轮;邓进军 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 热线 传感器 新型 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种柔性壁面热线微传感器的新型制作方法，包括如下步骤：
步骤1：对硬质衬底进行表面抛光和清洗；
步骤2：在硬质衬底上表面旋涂PDMS；
步骤3：将聚酰亚胺薄膜贴覆于旋涂有PDMS的硬质衬底表面，采用加温加压装置实现贴合，所述聚酰亚胺薄膜形成柔性壁面热线微传感器的柔性基底（2）；
步骤4：在聚酰亚胺表面依次沉积第一金属层和第二金属层，图形化后形成敏感元件（1）和导线（5）；
步骤5：在形成的敏感元件（1）和导线（5）的表面沉积聚对二甲苯（4）；
步骤6：对硬质衬底图形化，形成空腔（3）的掩膜层；
步骤7：以图形化的硬质衬底作为掩膜，进行PDMS和聚酰亚胺的刻蚀，形成空腔（3）；
步骤8：加热硬质衬底，实现柔性壁面热线微传感器和硬质衬底的剥离。
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