[发明专利]磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构无效
| 申请号： | 201310018337.0 | 申请日： | 2013-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN103103620A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 陈功 | 申请（专利权）人： | 陈功 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L21/223 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 胡根良 |
| 地址： | 313100 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构，该抽风管为U形管，抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层，抽风管底部开口并设有缩口结构，缩口结构外壁上设有倒钩，该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体，密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构，张口结构内壁安装一圈密封圈，密封箱体上方敞口上边沿外侧安装有固定扣，缩口结构插入张口结构，固定扣与倒钩扣合，密封圈与缩口结构外壁形成密封。在抽风管内迅速液化的三氯氧磷液体落进了密封水箱，并在密封水箱内进行中和无害化处理，从而降低了抽风系统的腐蚀速度，避免了气化的三氯氧磷的泄露和中毒事故的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 抽风 密封 水箱 连接 结构 | ||
【主权项】：
磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构，其特征在于：该抽风管为U形管，抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层，所述抽风管底部开口并设有缩口结构，所述缩口结构外壁上设有倒钩，该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体，密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构，所述张口结构内壁安装一圈密封圈，所述密封箱体上方敞口上边沿外侧安装有固定扣，所述缩口结构插入所述张口结构，所述固定扣与所述倒钩扣合，所述密封圈与所述缩口结构外壁形成密封。
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