[发明专利]磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构无效
申请号: | 201310018337.0 | 申请日: | 2013-01-17 |
公开(公告)号: | CN103103620A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 陈功 | 申请(专利权)人: | 陈功 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16;H01L21/223 |
代理公司: | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人: | 胡根良 |
地址: | 313100 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扩散 抽风 密封 水箱 连接 结构 | ||
1.磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:该抽风管为U形管,抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层,所述抽风管底部开口并设有缩口结构,所述缩口结构外壁上设有倒钩,该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体,密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构,所述张口结构内壁安装一圈密封圈,所述密封箱体上方敞口上边沿外侧安装有固定扣,所述缩口结构插入所述张口结构,所述固定扣与所述倒钩扣合,所述密封圈与所述缩口结构外壁形成密封。
2.根据权利要求1所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述抽风管包括横截面为方形的管道本体,所述管道本体内设有一竖直的中间隔板将抽风管分隔成U形结构。
3.根据权利要求2所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述中间隔板底端到达缩口结构处止。
4.根据权利要求3所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述抽风管的缩口结构底端设有延伸板伸入密封水箱的液面以下。
5.根据权利要求4所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述延伸板的长度为5cm。
6.根据权利要求5所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述缩口结构外壁上喷涂有特氟龙涂层。
7.根据权利要求6所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述密封水箱为不锈钢结构,密封水箱内壁设有特氟龙涂层。
8.根据权利要求7所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述特氟龙涂层的喷涂厚度为0.2-10mm。
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