[发明专利]磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构无效

专利信息
申请号: 201310018337.0 申请日: 2013-01-17
公开(公告)号: CN103103620A 公开(公告)日: 2013-05-15
发明(设计)人: 陈功 申请(专利权)人: 陈功
主分类号: C30B31/16 分类号: C30B31/16;H01L21/223
代理公司: 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 代理人: 胡根良
地址: 313100 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 扩散 抽风 密封 水箱 连接 结构
【权利要求书】:

1.磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:该抽风管为U形管,抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层,所述抽风管底部开口并设有缩口结构,所述缩口结构外壁上设有倒钩,该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体,密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构,所述张口结构内壁安装一圈密封圈,所述密封箱体上方敞口上边沿外侧安装有固定扣,所述缩口结构插入所述张口结构,所述固定扣与所述倒钩扣合,所述密封圈与所述缩口结构外壁形成密封。 

2.根据权利要求1所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述抽风管包括横截面为方形的管道本体,所述管道本体内设有一竖直的中间隔板将抽风管分隔成U形结构。 

3.根据权利要求2所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述中间隔板底端到达缩口结构处止。 

4.根据权利要求3所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述抽风管的缩口结构底端设有延伸板伸入密封水箱的液面以下。 

5.根据权利要求4所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述延伸板的长度为5cm。 

6.根据权利要求5所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述缩口结构外壁上喷涂有特氟龙涂层。 

7.根据权利要求6所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述密封水箱为不锈钢结构,密封水箱内壁设有特氟龙涂层。 

8.根据权利要求7所述的磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:所述特氟龙涂层的喷涂厚度为0.2-10mm。 

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