[发明专利]一种光刻机中照明系统各光学组件透过率的测量装置及测量方法

摘要

一种光刻机中照明系统各光学组件透过率的测量装置及测量方法，该测量装置包括光源，能量衰减装置，光路分离元件，光路调整元件，待测光学组件，光束接收与探测单元，数据处理和控制系统。用分光镜将准分子激光光源的光束分为测试光路和参考光路；将待测光学组件移出光路中，记录空测时两个通道的测量数据；将待测光学组件移入光路中，用光路调整元件调整入射到待测光学组件上的光束入射角度，记录实测时两个通道的测量数据；将空测和实测时的测量数据进行处理,计算出待测光学组件的透过率。本发明用该装置和方法测量光刻机中照明系统各待测光学组件的透过率，具有较高的测量精度和测量多功能性。

主权项

一种光刻机中照明系统各光学组件透过率的测量装置，其特征在于包括：可调准分子激光光源（1），能量衰减装置（2），滤光片（3），分光镜（4），转折反射镜（5），待测光学组件（6），第一光束收集装置（71）和第二光束收集装置（72），第一光束探测单元（81）和第二光束探测单元（82），同步控制电路（9），示波器（10）和计算机（11）；其中，第一光束收集装置（71）和第二光束收集装置（72）构成光束接收单元，第一光束探测单元（81）和第二光束探测单元（82）构成光束探测单元，同步控制电路（9）,示波器（10）和计算机（11）构成数据处理和控制系统；准分子激光光源（1）发出高斯光束到能量衰减装置（2），光束经过衰减装置（2）后入射到滤光片（3）上，经过滤光后的光束入射到分光镜（4）上并被分成两束光束，分别进入测试光路和参考光路中，转折反射镜（5）调节入射到待测光学组件（6）上的光束角度，使其与水平光轴成不同夹角，第一光束收集装置（71）和第二光束收集装置（72）为两端开口的类似于积分球结构的光束散射装置，其内部放置有多个石英玻璃散射板（701），光束在光束收集装置（71）和（72）中经过若干多次反射和散射，使得输出面上的光强分布均匀，测试光路的光信号经第一光束收集装置（71）后进入第一光束探测单元（81），产生测试光路曝光量成正比的电信号；参考光路的光信号经第二光束收集装置（72）后进入第二光束探测单元（82），产生与参考光路曝光量成正比的电信号；两路光束探测单元输出的电压信号存储在示波器（10）中，示波器（10）显示并记录每次测量的两路电压信号数据，最后将测量数据其导入计算机（11）中进行处理；其中，当准分子激光光源（1）开始工作后，发出触发脉冲到同步控制电路（9），同步控制电路（9）接到触发信号后发出指令给第一光束探测单元（81）和第二光束探测单元（82），使其开始同步工作；计算机（11）控制待测光学元件（6）内部的相对机械运动。