[发明专利]晶圆片双面刷洗机

摘要

一种晶圆片双面刷洗机，具有位于双面刷洗段输送机构尾端的双面刷洗装置，双面刷洗装置包括刷洗支座、两个可从内部喷液的毛刷、两根同步转动的刷洗轴组件和驱动刷洗轴组件旋转的驱动组件，刷洗轴组件可旋转地支承在刷洗支座上，刷洗支座安装在机架上，毛刷分别套装在相应的刷洗轴组件上，两个毛刷分别位于待测晶圆片的两侧；还包括使位于双面刷洗装置内的晶圆片旋转的晶圆片旋转驱动装置；还包括下料装置；还包括将冲洗段输送机构上的晶圆片推送至下料晶圆片盒上的卸片装置。本发明自动化程度高，对晶圆片的正反面同步进行刷洗，刷洗效果好，对去除0.3微米以下的微小颗粒有着明显的效果，解决了其它设备无法清洗的难题，有效保证晶圆片表面高要求的洁净度，达到了2寸晶圆片表面洁净度0.3微米的颗粒≤30颗的高要求。

主权项

一种晶圆片双面刷洗机，其特征在于：它包括机架（1）和控制系统（2）；还包括输送装置，输送装置依次包括喷雾清洗段输送机构（3）、双面刷洗段输送机构（4）、冲洗段输送机构（5）和可垂直翻转的翻转桥段输送机构（6）；还包括上料装置，上料装置上装有上料晶圆片盒（7），上料装置位于输送装置的起始侧；还包括与上料装置配合将上料晶圆片盒（7）内的晶圆片推送至输送装置上的推片装置，推片装置位于上料装置的左侧；还包括喷雾清洗装置（8），喷雾清洗装置（8）位于喷雾清洗段输送机构（3）的上方；还包括具有若干喷头的喷淋冲洗装置（9），若干喷头分别位于冲洗段输送机构（5）的上、下两侧；还包括位于双面刷洗段输送机构（4）尾端的双面刷洗装置，双面刷洗装置包括刷洗支座（10）、两个可从内部喷液的毛刷（11）、两根同步转动的刷洗轴组件（12）和驱动刷洗轴组件（12）旋转的驱动组件（13），刷洗轴组件（12）可旋转地支承在刷洗支座（10）上，刷洗支座（10）安装在机架（1）上，毛刷（11）分别套装在相应的刷洗轴组件（12）上，两个毛刷（11）分别位于待测晶圆片的两侧；还包括使位于双面刷洗装置内的晶圆片旋转的晶圆片旋转驱动装置；还包括下料装置，下料装置上装有下料晶圆片盒（14），下料装置位于输送装置的尾侧；还包括将冲洗段输送机构（5）上的晶圆片推送至下料晶圆片盒（14）上的卸片装置。