[发明专利]晶圆片双面刷洗机

权利要求书

1.一种晶圆片双面刷洗机，其特征在于：它包括机架（1）和控制系统（2）；

还包括输送装置，输送装置依次包括喷雾清洗段输送机构（3）、双面刷洗段输送机构（4）、冲洗段输送机构（5）和可垂直翻转的翻转桥段输送机构（6）；

还包括上料装置，上料装置上装有上料晶圆片盒（7），上料装置位于输送装置的起始侧；

还包括与上料装置配合将上料晶圆片盒（7）内的晶圆片推送至输送装置上的推片装置，推片装置位于上料装置的左侧；

还包括喷雾清洗装置（8），喷雾清洗装置（8）位于喷雾清洗段输送机构（3）的上方；

还包括具有若干喷头的喷淋冲洗装置（9），若干喷头分别位于冲洗段输送机构（5）的上、下两侧；

还包括位于双面刷洗段输送机构（4）尾端的双面刷洗装置，双面刷洗装置包括刷洗支座（10）、两个可从内部喷液的毛刷（11）、两根同步转动的刷洗轴组件（12）和驱动刷洗轴组件（12）旋转的驱动组件（13），刷洗轴组件（12）可旋转地支承在刷洗支座（10）上，刷洗支座（10）安装在机架（1）上，毛刷（11）分别套装在相应的刷洗轴组件（12）上，两个毛刷（11）分别位于待测晶圆片的两侧；

还包括使位于双面刷洗装置内的晶圆片旋转的晶圆片旋转驱动装置；

还包括下料装置，下料装置上装有下料晶圆片盒（14），下料装置位于输送装置的尾侧；

还包括将冲洗段输送机构（5）上的晶圆片推送至下料晶圆片盒（14）上的卸片装置。

2.根据权利要求1所述的晶圆片双面刷洗机，其特征在于：所述的机架（1）上安装有与喷雾清洗段输送机构（3）配合压紧晶圆片的毛刷压紧装置，毛刷压紧装置位于喷雾清洗段输送机构（3）的上方，毛刷压紧装置包括毛刷座（15）和压紧毛刷（16），毛刷座（15）固定连接在机架（1）上，压紧毛刷（16）可旋转地支承在毛刷座（15）上。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆片双面刷洗机，其特征在于：所述的推片装置包括推片连接板（17）、推头（18）以及固定连接在机架（1）上的推片气缸（19）和支撑组件（20），推片连接板（17）的一端安装在推片气缸（19）上，推片连接板（17）的另一端与推头（18）固定连接，并且推片连接板（17）的该端抵接在支撑组件（20）上。

4.根据权利要求1或2所述的晶圆片双面刷洗机，其特征在于：所述的上料装置和下料装置均包括电动执行器连接板（21）、固定晶圆片盒的装片盒组件以及使电动执行器连接板（21）上下移动的电动执行器（22），电动执行器（22）安装在机架（1）上，电动执行器连接板（21）的一端安装在电动执行器（22）上，另一端与装片盒组件固定连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆片双面刷洗机，其特征在于：所述的装片盒组件包括立板（23）、底板（24）、安装板（25）和可在机架（1）上滚动的滚轮组（26），所述的立板（23）的一端与电动执行器连接板（21）固定连接，另一端与底板（24）固定连接，滚轮组（26）安装在立板（23）与底板（24）之间，安装板（25）安装在底板（24）上。

6.根据权利要求1或2所述的晶圆片双面刷洗机，其特征在于：所述的晶圆片旋转驱动装置包括旋转臂（27）、驱动轴（28）、螺纹齿轮（29）、从动齿轮（30）、从动轴（31）、带轮副、辊轴（32）和驱动驱动轴（28）旋转的动力组件（47）以及可紧贴双面刷洗段输送机构（4）上的晶圆片并使其旋转的旋转辊（33），驱动轴（28）可旋转地支承在支架（1）上，螺纹齿轮（29）套装在驱动轴（28）上，从动齿轮（30）套装在从动轴（31）上，从动轴（31）可旋转地支承在机架（1）上，旋转臂（27）可旋转地支承在从动轴（31）上，从动轴（31）通过带轮副与辊轴（32）连接，辊轴（32）可旋转地支承在旋转臂（27）上，旋转辊（33）固定连接在辊轴（32）的端头，螺纹齿轮（29）与从动齿轮（30）啮合。