[发明专利]一种基于帕尔贴效应的气体微流量控制器有效
申请号: | 201310008314.1 | 申请日: | 2013-01-09 |
公开(公告)号: | CN103149949A | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 杭观荣;余水淋;康小录 | 申请(专利权)人: | 上海空间推进研究所 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 郭国中 |
地址: | 200233 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开一种基于帕尔贴效应的气体微流量控制器,包括一个节流器、一个气体进口、一个气体出口、至少一个帕尔贴半导体器件和至少一个热沉,气体从气体进口进入节流器,经过节流器的节流作用后,从气体出口流出微流量的推进剂,帕尔贴半导体器件的两面分别安装节流器和热沉,通过对帕尔贴半导体器件通电并进行控制,可对节流器进行主动加热、主动冷却和保温操作,使节流器在大范围内快速调节和稳定气体流量。相对于常见的加热丝主动加热、断电被动冷却的微流量控制器,本发明的微流量控制器可以对节流器进行主动加热和主动冷却,扩展节流器调节范围,提高节流器调节速度,且帕尔贴半导体器件在加热时效率高于加热丝。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 帕尔 效应 气体 流量 控制器 | ||
【主权项】:
一种基于帕尔贴效应的气体微流量控制器,其特征在于,包括一个节流器、一个气体进口、一个气体出口、至少一个帕尔贴半导体器件和至少一个热沉;气体从气体进口进入节流器,经过节流器的节流作用后,从气体出口流出微流量的推进剂;帕尔贴半导体器件的两面分别安装节流器和热沉,所述控制器根据反馈信号控制帕尔贴半导体器件所需功率和电流方向,对节流器进行主动加热、主动冷却和保温操作,使节流器能在大范围内快速调节并稳定气体流量。
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