[其他]电子枪装置

摘要

提供一种电子枪装置，在适于装置运转的位置具备极片，该极片在坩埚的上方位置朝着坩埚沿水平方向延伸。电子枪装置（1）具备：坩埚（3），其收容蒸镀材料；电子束射出机构（7），其射出电子束（EB），以使坩埚（3）内的蒸镀材料加热蒸发；壳体（10），其在内部收容电子束射出机构（7）；第1极片（11）以及第2极片（12），其在固定于壳体（10）的状态下使电子束（EB）朝着坩埚（3）内的蒸镀材料偏转；以及第3极片（13），其为了调整电子束（EB）对坩埚（3）内的蒸镀材料的照射位置，使向壳体（10）外射出的电子束（EB）进一步偏转，第3极片（13）在配置于坩埚（3）的上方位置的状态下朝着坩埚沿水平方向延伸，位于壳体（10）外，并且与壳体（10）分离。

主权项

一种电子枪装置，该电子枪装置具备： 收容部，其收容蒸镀材料； 电子束射出机构，其射出电子束，以使该收容部内的所述蒸镀材料加热蒸发； 壳体，其在内部收容该电子束射出机构； 极片，其在固定于该壳体的状态下，使从所述电子束射出机构射出的所述电子束以朝着所述收容部内的所述蒸镀材料的方式偏转；以及 其它极片，其在所述极片进行偏转后，使向所述壳体外射出的所述电子束进一步偏转，以调整所述电子束对所述收容部内的所述蒸镀材料的照射位置， 该电子枪装置的特征在于， 所述其它极片在配置于所述收容部的上方位置的状态下朝着所述收容部沿水平方向延伸，位于所述壳体外，并且与所述壳体分离。