[发明专利]用于对带电粒子束分包的方法和装置有效
| 申请号： | 201280073629.8 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN104509219B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | P·S·阿普塔克;P·比斯利;O·海德 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | H05H7/18 | 分类号： | H05H7/18;H05H7/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 张涛,刘春元 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在用于对带电粒子束分包的方法中，粒子穿越一个装置中的电场。该装置具有环形中心电极，所述环形中心电极在辐射方向上布置在第一外电极与第二外电极之间。中心电极被施加时变的电压信号，所述电压信号的时间变化过程被选择为，使得位于所述装置内部的粒子经历与位置相关的速度变化，其中所述速度变化的变化过程在辐射方向上接近于锯齿形。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子束 分包 方法 装置 | ||
【主权项】：
用于对带电粒子束(115)分包的方法，其中粒子穿越装置（120）中的电场，其中该装置（120）具有环形中心电极（330），所述环形中心电极在辐射方向（101）上布置在第一外电极（310）与第二外电极（320）之间，其中所述中心电极（330）被施加时变的电压信号（610），所述电压信号的时间变化过程被选择为，使得位于所述装置（120）内部的粒子经历与位置相关的速度变化（510,910,920），其中所述速度变化的变化过程（510,910,920）在所述辐射方向（101）上接近于锯齿形，其中在所述第一外电极（310）与所述中心电极（330）形成第一间隙（315），并且在所述中心电极（330）与所述第二外电极（320）之间形成第二间隙（325），其中所述第一间隙（315）的中心与所述第二间隙（325）的中心之间具有设定的间隙距离（340,860,870）。
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