[发明专利]组件和用于制造组件的方法有效
| 申请号： | 201280065860.2 | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN104040361A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | S·甘特奈尔;B·施密德 | 申请（专利权）人： | 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 殷玲;吴鹏 |
| 地址： | 德国法*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种组件和一种用于制造组件的方法。该组件具有基底(100)，该基底具有第一腔(112)和第二腔(113)，其中，在第一腔(112)中布置有第一微机械结构(117)并且在第二腔(113)中布置有第二微机械结构(118)。此外，第一腔(112)具有第一气体压力，第二腔(113)具有第二气体压力。在此，第一气体压力通过第一腔(112)的封闭而被提供，其中，第一通道(115)通入到第二腔(113)中，第二气体压力能够通过第一通道(115)调节第二气体压力与第一气体压力不同。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种组件，具有：‑基底(100)，该基底具有第一腔(112)和第二腔(113)；‑其中，在所述第一腔(112)中布置有第一微机械结构(117)；‑其中，在所述第二腔(113)中布置有第二微机械结构(118)；‑其中，所述第一腔(112)具有第一气体压力；‑其中，所述第二腔(113)具有第二气体压力；‑其中，通过封闭第一腔(112)提供第一气体压力；‑其中，第一通道(115)通入到所述第二腔(113)中，并且所述第二气体压力能够通过第一通道(115)调节；以及‑第二气体压力与第一气体压力不同。
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