[发明专利]研磨垫有效
| 申请号： | 201280057510.1 | 申请日： | 2012-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN103945984A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 数野淳 | 申请（专利权）人： | 东洋橡胶工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 钟守期;侯婧 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供层叠研磨垫，其即使在较大的情况下也能够平坦地贴附于研磨压盘。本发明的层叠研磨垫为研磨层和支撑层经由粘接构件层叠而成，其特征在于：所述研磨层包含0.5-5重量％的亲水性物质；所述支撑层由缓冲层和热尺寸变化率为1.3-12.6％的树脂膜一体成形而成；所述层叠研磨垫以研磨层侧成为凹状的方式弯曲，垫周边的平均弯曲量为3-50mm。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
【主权项】：
层叠研磨垫，其为研磨层和支撑层经由粘接构件层叠而成，其特征在于：所述研磨层包含0.5‑5重量％的亲水性物质；所述支撑层由缓冲层和热尺寸变化率为1.3‑12.6％的树脂膜一体成形而成；所述层叠研磨垫以研磨层侧成为凹状的方式弯曲，垫周边的平均弯曲量为3‑50mm。
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