[发明专利]金属过滤器的制造方法

摘要

本发明提供一种金属过滤器的制造方法，其包含下述工序：层叠工序，该工序是在铜基板上层叠感光性树脂组合物而形成感光性树脂组合物层；曝光工序，该工序是对感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使被曝光的部分发生光固化而形成感光性树脂组合物的固化物；显影工序，该工序是将感光性树脂组合物层中的感光性树脂组合物的固化物以外的部分通过显影而除去，在铜基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案；镀覆工序，该工序是对形成了抗蚀图案的铜基板进行金属镀覆而形成镀层；溶解工序，该工序是通过化学溶解而除去铜基板，从而得到由镀层和感光性树脂组合物的固化物构成的结构物；以及剥离工序，该工序是从结构物中除去感光性树脂组合物的固化物，从而得到镀层，其中，镀层是金属过滤器。该金属过滤器的制造方法能够制造没有皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤以及微细贯通孔的变形的金属过滤器，因而是有用的。

主权项

1.一种金属过滤器的制造方法，其包含下述工序：层叠工序，该工序是通过将感光性树脂组合物层一边加热一边压贴于铜基板上来进行的，其中所述铜基板是由载体层和铜箔层构成的可剥离铜箔；曝光工序，该工序是对所述感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使被曝光的部分发生光固化而形成感光性树脂组合物的固化物；显影工序，该工序是将所述感光性树脂组合物层中的所述感光性树脂组合物的固化物以外的部分通过显影而除去，在所述铜基板上形成由所述感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案；镀覆工序，该工序是对所述形成了抗蚀图案的铜基板进行金属镀覆而形成镀层；将所述可剥离铜箔的所述载体层剥离的工序；溶解工序，该工序是通过化学溶解而除去所述可剥离铜箔的所述铜箔层，从而得到由所述镀层和所述感光性树脂组合物的固化物构成的结构物；以及剥离工序，该工序是从所述结构物中除去所述感光性树脂组合物的固化物，从而得到所述镀层，其中，所述镀层是金属过滤器。