[发明专利]气体供给装置

摘要

本发明的气体供给装置谋求气体供给管路和气体装置的进一步小型化，并且更容易进行各仪器类的维修管理。本发明在由气体入口侧块、气体出口侧块和多个流体控制仪器形成有供给管路是供给装置中，在前述气体供给装置上形成有至少两个气体供给管路，各气体供给管路的前述流体控制仪器包含至少一个流量控制器，一方的气体供给管路的流量控制器的入口侧块与另一方的气体供给管路的流量控制器的入口侧块以对向状相对于前述入口侧块连接，一方的流量控制器的出口侧块与另一方的流量控制器的出口侧块以对向状相对于前述气体出口侧块连接。

主权项

一种气体供给装置，由气体入口侧块（12）、气体出口侧块（13）和多个流体控制仪器形成有气体供给管路（S），其特征在于，在前述气体供给装置上形成有至少两个气体供给管路（S），各气体供给管路（S）的前述流体控制仪器包含至少一个流量控制器（3），一方的气体供给管路（S）的流量控制器（3）的入口侧块（15）与另一方的气体供给管路（S）的流量控制器的入口侧块（15）以对向状相对于前述气体入口侧块（12）连接，而且，一方的流量控制器的出口侧块（16）与另一方的流量控制器的出口侧块（16）以对向状相对于前述气体出口侧块（13）连接。