[发明专利]用于振荡扰动时域测量的设备及方法在审
| 申请号： | 201280040523.8 | 申请日： | 2012-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN103891147A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 保罗·D·史万森;理查德·L·沃特斯 | 申请（专利权）人： | 路梅戴尼科技公司;海军部长代表的美国政府 |
| 主分类号： | H03L7/00 | 分类号： | H03L7/00 |
| 代理公司： | 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 | 代理人： | 董红曼 |
| 地址： | 美国加利福尼亚州*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种振荡设备及使用该设备的方法。在一个实施例中，设备包括具有保证质量的力传感器，该力传感器具有配置于其上的一个或多个感测电子隧穿电极，以及包括一个或多个参考电子隧穿电极的框架。配置于传感器基部及封盖晶圆上的导电板引起保证质量的振荡。感测及参考电极对以面对面的方式配置，因而形成以一个或多个闭合状态为特征的数字开关。在闭合状态中，开关产生触发事件，因而使得感测设备能够产生指示质量位置的数字输出。连续的触发事件之间的时间周期用于获取因外力导致的质量偏移。在触发事件之间的时间间隔基于制造期间建立的物理尺寸，因而不需要进行传感器校正。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 振荡 扰动 时域 测量 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种振荡感测设备，包括：振荡设备；驱动电路，配置为驱动振荡设备；至少一个开关设备，包含第一元件和第二元件，且以至少一个闭合状态为特征；以及感测电路，耦合至该至少一个开关。
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