[发明专利]耦合波导装置及其结构

摘要

平面波导装置提供一种波导(100)，该波导至少部分地覆于无源内埋肋波导之上，以用于对两者之间的光学辐射进行耦合。该上覆波导(100)具有至少一个渐细区段(200)，该渐细区段的宽度决定了在沿着该渐细区段的点处在这两个波导之间的耦合程度。该无源波导在截面中包含由纤芯材料组成的肋(140)，该肋在所有侧面上由包层材料环绕。该内埋肋能够避免晶体生长到蚀刻的四元层表面带来的问题，以及避免构造物的萃取精度需求带来的问题。

主权项

一种平面波导装置，其用于对由基板支撑的波导之间的光学辐射进行耦合，所述装置包含无源波导以及相对于所述基板至少部分地覆于所述无源波导之上的波导，该上覆波导具有至少一个渐细区段以在使用所述装置时支持在所述上覆波导与所述无源波导之间的所述耦合，并且所述无源波导包含纤芯层和包层材料，其中所述无源波导在截面中包含由纤芯材料组成的肋，所述肋在所有侧面上由所述包层材料环绕，从而提供内埋肋波导。