[发明专利]通过静电纺丝沉积聚合物膜在审
| 申请号： | 201280030696.1 | 申请日： | 2012-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN103608385A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 苏克蒂·查特吉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C08J5/18 | 分类号： | C08J5/18;D04H1/4382;D04H1/728;D01D5/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用于沉积聚合物膜的方法与设备。在一些实施方式中，用于沉积介电膜的方法可包含：流动液态聚合物前驱物材料穿过与基板间隔开的孔口，该液态聚合物前驱物材料将沉积于该基板上；在该孔口与该基板之间提供电位差，以朝向该基板吸引该液态聚合物并在该基板上形成沉积的材料；以及固化该沉积的材料，以在该基板上形成介电膜。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 静电 纺丝 沉积 聚合物 | ||
【主权项】：
一种用于沉积介电膜的方法，所述方法包含：流动液态聚合物前驱物材料穿过与基板间隔开的孔口，所述液态聚合物前驱物材料将沉积于所述基板上；在所述孔口与所述基板之间提供电位差，以朝向所述基板吸引所述液态聚合物并在所述基板上形成沉积的材料；以及固化所述沉积的材料，以在所述基板上形成介电膜。
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