[发明专利]使用整个原始图像进行缺陷检测的系统和方法有效
申请号: | 201280028222.3 | 申请日: | 2012-06-05 |
公开(公告)号: | CN103765200A | 公开(公告)日: | 2014-04-30 |
发明(设计)人: | 尼古拉·默克契 | 申请(专利权)人: | 光子动力公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;G01B11/30;G06T7/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 曹瑾 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种用于识别具有周期性特征的电子电路的缺陷的装置。本发明装置包括:至少一个照相机,其用于获取电子电路图像;以及图像处理系统。图像处理系统接收来自照相机的电子电路图像,通过至少一个电子电路周期性特征的对角线尺寸对接收的电子电路图像进行对角线转变以生成电子电路的转换图像,运用电子电路的图像和转换图像来识别候选缺陷,利用至少一个在识别出的候选缺陷附近没有缺陷的选中图像区域来计算一个或多个电子电路区域局部无缺陷参考(金色)图像,以及利用一个或多个计算的电子电路的局部金色图像和电子电路的图像来确定电子电路的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 使用 整个 原始 图像 进行 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种用于识别具有周期性特征的电子电路缺陷的装置,该装置包括:a.照相机,用于取得该电子电路的图像;以及b.图像处理系统,包含处理单元及记忆器,该图像处理系统用以:i.从该照相机接收该电子电路的图像;ii.由该电子电路的周期性特征的至少一对角线尺寸对所接收的该电子电路的该图像执行对角线位移,进而形成该电子电路的已位移图像;iii.利用该电子电路的图像以及该电子电路的已位移图像来识别候选缺陷;iv.利用位于已识别的候选缺陷附近的已选择的至少一个不包含缺陷的图像区域来计算该电子电路区域的一个或多个局部无缺陷参考图像;以及v.利用已计算的电子电路的无缺陷参考图像及电子电路的图像确定该电子电路中的缺陷。
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