[发明专利]用于测量薄层的厚度的测量探头有效
| 申请号： | 201280025307.6 | 申请日： | 2012-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN103718035B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | H.菲舍尔 | 申请（专利权）人： | 赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所 |
| 主分类号： | G01N27/90 | 分类号： | G01N27/90;G01B7/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 肖日松,胡斌 |
| 地址： | 德国辛*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量薄层的厚度的测量探头，其具有壳体(14)，测量探头具有至少一个传感器元件(17)，传感器元件(17)沿纵向轴线(16)至少可略微移动地被收纳，且传感器元件(17)包括至少一个第一绕组装置(44)，第一绕组装置(44)具有布置在壳体(14)的纵向轴线(16)中的磁性罐形芯(41)，且第一线圈(70)和第二线圈(71)分配在第一绕组装置(44)的中心销(42)上，且具有指向待测量的物体的测量表面的中心销(42)上的球形定位盖(21)，该盖包括用于配合在测量表面上的承载表面(57)，其中第二绕组装置(48)提供成分配给球形定位盖(21)，该装置由具有至少一个阿基米德线圈(51)的盘状或环形载体(49)形成，且屏蔽件(83,85)至少部分地设在第一绕组装置(44)与第二绕组装置(48)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 薄层 厚度 探头 | ||
【主权项】：
一种用于测量薄层的厚度的测量探头，所述测量探头具有壳体(14)，具有至少一个传感器元件(17)，所述传感器元件(17)沿纵向轴线(16)至少可略微移动地被收纳，且其包括至少一个第一绕组装置(44)，所述第一绕组装置(44)具有沿所述壳体(14)的纵向轴线(16)布置的磁性罐形芯(41)，且第一线圈(70)和第二线圈(71)分配给所述罐形芯(41)的中心销(42)，且具有指向待测量的物体的测量表面的所述中心销(42)上的球形定位盖(21)，所述盖包括用于配合到测量表面上的承载表面(57)，其特征在于，第二绕组装置(48)提供成分配给所述球形定位盖(21)，所述第二绕组装置由具有至少一个第一阿基米德线圈(51)的盘状或环形载体(49)形成，且屏蔽件至少部分地设在所述第一绕组装置(44)与所述第二绕组装置(48)之间，以及由铁素体材料制成的套筒(83)设在所述球形定位盖(21)上，所述套筒（83）形成沿径向方向朝所述第二绕组装置(48)的屏蔽件。
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